在昨日的技能发布会上,Lam Research泛林集团推出了全球首款专为半导体制作设备保护规划的协作机器人——Dextro。这款宛如未来科幻电影中的机械帮手,已获得多家先进晶圆厂的喜爱与运用。
Dextro 搭载在一个移动推车上,规划精妙,简略易操作。制作技能人员或工程师只需掌控它,便能凭借各种手部东西高效完结三大保护使命。首要,在装置和紧缩易损件方面,Dextro的精度是人手的两倍,让人不由慨叹科技的精准与完美;其次,它可以准确拧紧高精度真空密封螺栓,传统办法中人类的错误率居然高达5%,这无疑让Dextro在这一环节成为了不可或缺的帮手;终究,机器人无需拆开腔室,就能主动去除腔室侧壁上的聚合物堆积,曾经人类工程师只能在粗笨的防护设备覆盖下困难作业。
经过这些立异,Dextro为晶圆厂的工程师分管了耗时、易错且高风险的保护作业,意味着设备的保护不只变得更高效,并且安全性得到十分显着提高。其实力之强悍,让业内人士惊叹不已,终究有望提高全体晶圆厂的出产功率。
泛林集团的代表表明,一个Dextro协作机器人能为50到100个泛林的东西腔室供给服务,现在已支撑FlexG/H系列介电刻蚀东西,未来自2025年起将拓宽合适运用的规模。这样的立异浪潮引起了三星电子副总裁兼内存蚀刻技能团队负责人Kim Young Ju的重视,他盛赞这项无差错的保护方法将在提高出产变数和产值中发挥至关重要的效果。
综上所述,Dextro不只是半导体制作范畴的一项技能革新,更是推进职业向自主化工厂跨进的重要里程碑。跟着这一科学技能产品的遍及,信任未来的半导体制作将会愈加智能、高效与安全。回来搜狐,检查愈加多